的条件来说有些超纲。
而高振东选的这个配方,就简单多了,双氧水和可溶性硅酸盐都不是什么稀奇古怪的东西,一抓一大把,效果也不差。
双氧水?可溶性硅酸盐?
唐少辉虽然发现了这个现象,可是他不是学化学的,可没能力研究这些现象,研究工作都是化学专业的老师教授配合着搞的,对高振东提出来的方案,听是听清楚了,但是离听懂,就很远。
“高总工,这些东西有什么用?您给我说说,我自己是不太懂这方面的,我记下来,到时候我转述给搞化学的同志们的时候,他们也能及早掌握您的思路,工作做起来也顺畅一些。”不懂就问。
此时的唐少辉,对高振东那是佩服得五体投地,他就听了听,想了想,就给了一个方案,别管能不能用,但是那份自信是假不了的。
唐少辉有种预感,高总工提出来的这个方案,多多少少都是有效的。
“先说硅酸盐吧,加它的原因,主要是与氢氟酸反应生成硅酸,以此抑制腐蚀反应的速度,解决你们说的反应速度过快的问题。”
唐少辉一边记,一边笑道:“啊,明白了,就是和反应抢原料嘛,懂了懂了。”高总工说得简单明了,很容易懂,大道至简啊。
高振东笑着点点头:“对,就是这么个道理,至于双氧水,是解决两个问题,一是促进反应,增加孔洞的深度,二是利用双氧水易分解的特性,促进气泡从硅片表面脱离,解决你们说的气泡问题。”
唐少辉连忙记下来,听起来都很有道理的样子,也不知道高总工就这么想一小会儿是怎么想到的。
不过想起他刚才在高总工桌上看到的一本有机化学的书,他好像明白过来,高总工那是一直在不停的学习啊,至于有机化学和无机化学有多少联系,那不管,反正都是化学就对了。
“至于扩孔的反应速度问题,先放一边,你们不是有个除银工序嘛,也加双氧水!”
高振东把唐少辉整得有些蒙蔽,什么都加双氧水是吧?
“这一步,双氧水的易分解特性,产生的气泡对硅片起到漂洗作用,能够更干净的除掉银单质和银离子,同时银离子和双氧水生成的氢氧化银不稳定,容易分解生成水和氧化银,也能有助于沉积的银离子的去除。”
这么短的时间里,唐少辉和搞化学的同志,考虑不到这么深远,所以高振东干脆把他们这个短板补上。
唐少辉麻了,好吧,听起来好像也很有道理的样
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